Крысёныш
> при переходе на EUV должен был бы произойти невероятный скачок "нанометров"

На самом деле нет, в ЖУФ-области спектра вместо линз нужны пластинки Френеля, у них свои ограничения. Есть тема с апериодическими зеркалами, но тема пока что уж очень отдельная.

C17H19NO3
Чё-т я в схематике тех принтеров не заметил френелевских линз, но неважно: если мы говорим о "дифракционном зазоре" (что бы это ни значило), ЖУВ предлагает кратно уменьшенные параметры.

Но на самом-то деле речь идёт о реальных структурах в кремнии, а не о фото-масках. И там "нанометры" считаются, исходя из площади ячейки памяти. Что не так уж и ужасно, как по мне.