Крысёныш
> при переходе на EUV должен был бы произойти невероятный скачок "нанометров"

На самом деле нет, в ЖУФ-области спектра вместо линз нужны пластинки Френеля, у них свои ограничения. Есть тема с апериодическими зеркалами, но тема пока что уж очень отдельная.