...
Рентгеновская оптика – это одна из современных ключевых технологий, жизненно важная для многих инженерных и научных областей, таких как рентгенофлуоресцентный анализ, космическая астрономия, лазеры на свободных электронах, и т.п. Наиболее важной областью применения рентгеновской оптики стало новое поколение литографии, использующее длину волны 13.5 нм. Формально, такое излучение относится к мягкому рентгену, но больше известно под «коммерческим именем» Extreme Ultraviolet (EUV)
...
Слабое отражение мягкого рентгеновского излучения твердыми веществами требует использования специальных отражающих оптических устройств. Показатель преломления в рентгеновском диапазоне является комплексным и равен 1 - δ + iβ, где мнимая часть — это поглощение. Сразу после открытия рентгеновских лучей было обнаружено, что показатель преломления всех материалов очень слабо отличается от единицы (δ ~ 10-5). Позже, в результате открытия рентгеновской дифракции на кристаллах, был обнаружен и способ отклонения рентгеновских лучей. «Новая версия» рентгеновской дифракции была предложена 30 лет назад, когда было предложено использовать искусственные дифракционные структуры вместо природных кристаллов для манипулирования рентгеновскими лучами. Обычно такие искусственные структуры состоят из периодически чередуемых нанослоев двух материалов, как показано на рисунке 3. Таким образом, отражательная способность рентгеновских лучей усиливается из-за умножения отражающих границ раздела. Такие структуры называются многослойными периодическими рентгеновскими зеркалами (англ. periodical multilayer X-ray mirrors - PMMS).
...
Проектирование высокоэффективных зеркал для конкретной длины волны включает в себя несколько основных шагов. Первый шаг - выбор пары материала. Выбор определяется оптическими свойствами материалов в данном диапазоне длин волн. Например, пара Mo/Si в основном используются для длины волны 13,5 нм (EUV), а многослойки Mo/B оптимальны для 6,7 нм, поскольку бор имеет более низкое поглощение в этом диапазоне по сравнению с кремнием; Co/C являются наиболее эффективными для более короткого диапазона длин волн 4,4 - 4,5 нм.

Следующим шагом выбирает толщину отдельных слоев и их количество. Этот шаг обычно основан на компьютерном моделировании KO на заданной длине волны. Для расчета КО используются различные инструменты. Мы предпочитаем наш собственный X-RayCalc.

Например, для 13.5 нм, оптимальные толщины Mo и Si составляют 2.8 и 4.6 нм, общее число пар (периодов) - 50-60
...